книга Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.(ред.)

А Б В Г Д Е Ж З И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Э Ю Я
0-9 A B C D I F G H IJ K L M N O P Q R S TU V WX Y Z #


Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.(ред.)

скачать Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.(ред.) бесплатно
Название: Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.(ред.)
Автор: Фалькевич Э.С.(ред.)
Страниц: 408
Формат: DJVU
Размер: 5.2 Мб
Качество: Нормальное
Язык: Русский
Год издания: 1992


Изложены физико-химические основы технологии полупроводникового кремния, рассмотрены свойства технологических материалов, влияние структурных несовершенств и термической обработки на электрофизические и физико-химические свойства кремния, процессы получения кремния и оборудование, в том числе вакуумное и криогенное, способы получения кремния с заранее заданными свойствами, приведены области его применения.Значительное внимание уделено контролю качества продукции, технике безопасности в кремниевом производстве.
Для инженерно-технических работников и специалистов полупроводниковой промышленности, студентов.

Оглавление

Предисловие
Физико-химические основы получения полупроводникового кремния
Современные представления о строении веществ
Кинетические явления
Основы термодинамики
Механизм фазового перехода
Структура межфазной границы раздела
Рост кристаллов из жидкой и газовой фаз
Свойства полупроводникового кремния и методы их контроля
Физико-химические свойства кремния
Параметры и методы их определения
Методы получения чистого кремния, оборудование и технология промежуточных кремниисодержащих соединений
Производство чистого кремния
Получение технического кремния
Получение силанов
Очистка соединений кремния методом ректификации
Контроль качества кремний со держащих соединений
Технология и оборудование для получения поликристаллических кремниевых стержней
Получение кремниевых стержней в процессе водородного восстановления хлорсиланов
Получение кремниевых стержней термическим разложением силана
Выращивание монокристаллов кремния из расплава
Метод Чохральского
Бестигельная зонная плавка
Чистота и микроклимат в производственных помещениях
Вспомогательные технологические газы и оборудование
Технологические газы
Криогенная техника
Холодильные машины
Вакуумное оборудование
Очистка воды
Материалы аппаратов
Основные элементы техники безопасности
Библиографический список



   [turbobit




С этой книгой бесплатно скачивают:



1

 

 

Kodges.ru — сервис, позволяющий бесплатно скачать книги в различных форматах. Кроме этого, ресурс библиотеки постоянно пополняется, благодаря чему даже самые притязательные читатели смогут найти для себя что-то интересное. В разделе «Технические издания» представлена такая специализированная литература, как «Технология полупроводникового кремния - Фалькевич Э.С.(ред.)», а также другие книги для узких специалистов и любознательных читателей. Путешествовать по разделам библиотеки Kodges.ru удобно и увлекательно.


Поделитесь ссылкой на книгу со своими друзьями:

HTML ссылка:


Ссылка для форумов:


Прямая ссылка:



Имя:*
E-Mail:
  • bowtiesmilelaughingblushsmileyrelaxedsmirk
    heart_eyeskissing_heartkissing_closed_eyesflushedrelievedsatisfiedgrin
    winkstuck_out_tongue_winking_eyestuck_out_tongue_closed_eyesgrinningkissingstuck_out_tonguesleeping
    worriedfrowninganguishedopen_mouthgrimacingconfusedhushed
    expressionlessunamusedsweat_smilesweatdisappointed_relievedwearypensive
    disappointedconfoundedfearfulcold_sweatperseverecrysob
    joyastonishedscreamtired_faceangryragetriumph
    sleepyyummasksunglassesdizzy_faceimpsmiling_imp
    neutral_faceno_mouthinnocent



Навигация по сайту


Читательские рекомендации

Информация