книга Быстрые термообработки в технологии СБИС

А Б В Г Д Е Ж З И К Л М Н О П Р С Т У Ф Х Ц Ч Ш Щ Э Ю Я
0-9 A B C D I F G H IJ K L M N O P Q R S TU V WX Y Z #


Быстрые термообработки в технологии СБИС

скачать Быстрые термообработки в технологии СБИС бесплатно Название: Быстрые термообработки в технологии СБИС
Автор: Пилипенко В.А.
Страниц: 531
Формат: PDF
Размер: 20.8 Мб
Качество: Нормальное
Язык: Русский
Год издания: 2004
ISBN: 985-476-251-3


В монографии рассмотрены физические процессы, вызывающие нагрев кремниевых пластин в результате их облучения импульсами когерентного и некогерентного света.
Приведены расчеты температурных полей и термических напряжений, возникающих в кремниевых пластинах при такой обработке, их влияние на параметры исходных кремниевых пластин и диэлектрических покрытий, а также даны характеристики основных видов оборудования, применяемого для БТО. Представлены результаты применения БТО в технологии СБИС, а именно для гетгерирования быстродиффундирующих примесей, очистки поверхности, формирования субмикронных зпитаксиальных слоев, отжига ионнолегированных слоев в моно- и поликристаллическом кремнии, планаризации поверхности, формирования силицидов, омических контактов. Кроме того, большое внимание уделяется моделированию и изучению параметров биполярных ИМС, сформированных с применением БТО. Предназначена для научных и инженерно-технических работников, занимающихся разработкой технологии создания СБИС с субмикронными размерами, а также преподавателей, студентов и аспирантов радиоэлеиронного профиля.

  [turbobit] [dfiles] [shareflare]




С этой книгой бесплатно скачивают:



1

 

 

Благодаря электронной библиотеке Kodges.ru вы получите доступ к необходимым книгам в любое удобное время и совершенно бесплатно. Разделы сайта постоянно обновляются, навигация совершенствуется, а выбор изданий растет — вот почему стоит обратиться именно к нам. Библиотека позволяет скачивать литературу в различных форматах. Kodges.ru — настоящая находка для книголюбов вне зависимости от возраста и предпочтений. В разделе «Наука и образование» можно найти такие интересные издания, как «Быстрые термообработки в технологии СБИС», а также погрузиться в увлекательный мир эзотерики, психологии и истории.


Поделитесь ссылкой на книгу со своими друзьями:

HTML ссылка:


Ссылка для форумов:


Прямая ссылка:



Имя:*
E-Mail:
  • bowtiesmilelaughingblushsmileyrelaxedsmirk
    heart_eyeskissing_heartkissing_closed_eyesflushedrelievedsatisfiedgrin
    winkstuck_out_tongue_winking_eyestuck_out_tongue_closed_eyesgrinningkissingstuck_out_tonguesleeping
    worriedfrowninganguishedopen_mouthgrimacingconfusedhushed
    expressionlessunamusedsweat_smilesweatdisappointed_relievedwearypensive
    disappointedconfoundedfearfulcold_sweatperseverecrysob
    joyastonishedscreamtired_faceangryragetriumph
    sleepyyummasksunglassesdizzy_faceimpsmiling_imp
    neutral_faceno_mouthinnocent



Навигация по сайту


Читательские рекомендации

Информация